使用普旭真空泵过程中应注意的问题

使用普旭真空泵过程中应注意的问题

对普旭真空泵应提出以下几点作用要求：

　　1、使用油封式机械泵时，如果真空室和泵之间没有冷阱，则不能用机械泵直接抽真空至13Pa以下，因为在压强低于13Pa时，油燕气分子将返流到真空室造成污染。、

　　2、在启动机械泵之前，要检查泵油的状态，看是否被污染，泵油的油位是否符合要求。

　　3、泵启动之前，前级压力应在允许压强范围之内，若是该泵具有过载保护装置，则可以启动得稍早一些。

　　3、在启动之前要检查确定前级压力在允许压力范围内。

　　5、如果普旭真空泵接人系统以后，真空度抽不上去，则先检查泵所在的系统的翻气率是否大于允许值，同时检查泵的电炉工作是否正常、泵的冷却是否正常，若已经排除真空容器密封、阀门工作都正常，则有可能是泵本身的问题，需要和泵的生产厂家进行交流，可能存在着泵油变质、泵冷却不好、泵油不足或泵过热等问题。

　　6、在通大气之前，要检查泵油的温度，若是温度过高，则会把泵油氧化。

　　7、真空系统不工作时，除了机械泵通大气以外，真空系统的其他部件尽量在真空条件下封存。

　　8、在普旭真空泵开启或停止工作的时候，应该先关闭油泵入口的阀门，防止泵油返流到真空室当中去。

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